Metallfreie Lösungen für das Polishing von Reinstwasser
Die kompromisslose Antwort darauf, was Betreiber von Halbleiteranlagen von Reinstwasseranlagen erwarten können.
Die heutigen Konfigurationen integrierter Schaltungen sind so komplex, dass selbst die kleinste Verunreinigung das Endprodukt beeinträchtigen kann. Das Ziel von Ovivo war es immer, alle potenziellen Kontaminationsquellen zu eliminieren.
Durch den Einbau von hochreinen Materialien wie speziellem PVDF-HP-Granulat oder Halar® E-CTFE, können die metallfreien Reinstwasser Polishing Anlagen von Ovivo einen Gesamtgehalt an organischem Kohlenstoff (TOC) von weniger als 1 ppb und Wasserstoffperoxid (H2O2) von weniger als 10 ppb erreichen.
Ovivo führt für den Halbleiterbereich ein Reinigungsverfahren für alle medienberührten Teile durch. Darüber hinaus haben wir die Kontrolle über die komplette Lieferkette, um eine hohe Produktzuverlässigkeit und lange Lebensdauer zu gewährleisten.
Zur Unterstützung unserer metallfreien Lösungen für das Polishing von Reinstwasser haben wir folgende Produkte entwickelt:
- U-PUR. Der kompakteste metallfreie Reaktor für die UPW-Produktion (UV-Oxidation/ Katalysator/Reinigungsmischbett)
- UPW-Pumpen. Die neue Generation nicht-metallischer Pumpen, die speziell für UPW-Anwendungen entwickelt und hergestellt wurden
- CFHAPatronenfiltergehäuse.Die ultimativen metallfreien Patronenfiltergehäuse für das Reinstwasser Polishing
Diese Produkte veringern die medienberührte Oberfläche von Edelstahl (SS) innerhalb des UPW- Polishing Reinigungssystems.
Während in herkömmlichen Polishing Systemen beträchtliche Oberflächen aus elektropoliertem Edelstahl verbaut werden, verwenden wir UPW-Pumpen und U-PUR Fluorpolymer ausgekleidete Ionenaustauscherbehälter, in die eine UV-Behandlung integriert sind. Dadurch wird ein Großteil der medienberührten metallischen Oberflächen vermieden
Metallfreie Pumpen sind nichts Neues auf dem UPW-Markt. Neu ist der hohe Durchfluss, den die UPW-Pumpen von Ovivo erreichen. Diese hochreinen metallfreien Pumpen wurden entwickelt, um sicherzustellen, dass alle medienberührten Oberflächen aus hochreinem PVDF bestehen. Durch den Austausch der 316L-SS-Antriebsräder durch hochreine PVDF-Antriebsräder werden leitfähige Partikel aus dem Prozessstrom entfernt, die während einer Betriebsunterbrechung, Pumpenwartung oder Dichtungsspülung auftreten.
Der innovative metallfreie U-PUR-Reaktor ist in der Lage, TOC- und H2O2-Spuren zu entfernen und erzeugt Wasser, das weitaus reiner ist als bei herkömmlichen Systemen. Die wartungsfreundliche Konstruktion kommt ohne Rohrleitungen aus, wodurch das Kontaminationsrisiko durch Kontakt mit Metall verringert wird. Das Produkt U-PUR kombiniert UV-Reaktoren mit einem Mischbett, um die Berührung von Edelstahl-Oberflächen durch das Wasser zu vermeiden . Dies stellt einen großen Fortschritt bei der Reinstwasser- Herstellung dar und ermöglicht dem System, eine deutlich höhere Wasserqualität zu liefern.
Die Modelle CFEHA (Filtergehäuse der Kartusche nach europäischer Norm mit Halar-Innenbeschichtung) und CFAHA (Filtergehäuse der Kartusche nach ASME mit Halar-Innenbeschichtung) sind die ultimative Wahl, um die spezifischen Anforderungen von UPW- Anwendungen zu erfüllen. Beide Modelle werden vor dem Auftragen der Halar-Beschichtung innen und außen gebeizt und passiviert. Diese hochmodernen Filtergehäuse bestehen aus Hochleistungs-Edelstahl 316L und alle medienberührten Oberflächen sind mit Fluorpolymer ausgekleidet. Dadurch wird sichergestellt, dass Reinstwasser niemals mit Metalloberflächen in Kontakt kommt, was ideal für die Nanotech-Fertigung ist.
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