Contrôle de processus en ligne pour l’urée

UREA Analyzer 1601

L’urée est un contaminant critique dans l’eau ultrapure (UPW) pour la fabrication de semi-conducteurs, car elle contribue à la concentration de carbone organique total (COT) et peut nuire aux processus de photolithographie.

Ovivo propose un analyseur d’urée en ligne permettant une mesure précise et continue de celle-ci, avec jusqu’à quatre canaux d’échantillonnage.

L’analyseur UREA 1601 d’Ovivo permet une surveillance continue permettant de détecter les variations saisonnières de l’urée et d’adapter les étapes du processus de traitement de l’eau ultrapure (UPW) afin de maximiser son élimination.

Cette application est destinée à l’eau UPW ou déionisée. Les autres applications dépendent de la composition de l’eau.

Ovivo a l’expérience de systèmes performants de traitement de l’urée qui peuvent être conçus pour des cas spécifiques ainsi que pour répondre aux besoins d’un client.

L’analyseur UREA 1601 possède les caractéristiques essentielles suivantes.

  • Échantillonnage et analyse automatiques.
  • Fonctionnement continu (24 h/24, 7 j/7).
  • Faible consommation de produits chimiques.
  • Large spectre de concentrations d’urée.
  • Option d’échantillon instantané.
  • Fonctionnement automatique du logiciel après le démarrage initial et intégration et interprétation automatiques.
  • Options de logiciel de diagnostic.

Analyseur de processus LC-OND pour la surveillance de l’urée

Le principe de fonctionnement de l’analyseur UREA 1601 d’Ovivo est basé sur une séparation chromatographique, à savoir LC-OND (Chromatographie liquide – Détection d’azote organique).

La phase mobile (tampon de sel) est pré-nettoyée par un réacteur d’oxydation spécialement conçu. Un volume défini d’échantillon aqueux est prélevé par une boucle de contrôle et injecté dans le flux continu de la phase mobile. L’échantillon est ensuite acheminé vers une pompe et une colonne chromatographique où l’urée est séparée des autres espèces azotées, comme le nitrate et l’ammonium.

Après avoir quitté la colonne chromatographique, la solution est introduite dans un réacteur à lampe d’oxydation UV à ondes courtes où l’urée et l’ammonium sont convertis en nitrate, tandis que le nitrate reste inchangé.

Le nitrate est ensuite détecté sélectivement par un détecteur d’absorption d’UV à ondes courtes (UVD).

Chaque espèce azotée élue en fonction de son temps de rétention spécifique. Le temps de rétention est utilisé pour l’identification, tandis que les unités de surface de pic sont utilisées pour la quantification.

Spécification technique de l’analyseur UREA 1601:

Limite de détection 1,5 ppb d’urée
Plage de quantification Entre 3 ppb et150 ppb sous forme d’urée
Canaux d’échantillonnage Jusqu’à 4
Temps de mesure moyen 60 min/échantillon
Volume par échantillon < 100 ml
Pression max. de l’échantillon 10 bar (145 psi)
Tension 90-230 V / 10 A @ 50-60 Hz
Consommation électrique 450 watts
Dimensions 60 x 60 x 190 cm (24 x 24 x 75 po)
Mode de commande Séquence automatique/sélectionnable ou mesures individuelles manuelles

Analyse d’échantillons en ligne ou ponctuels