Metaalvrije UPW polijstoplossingen
Het antwoord zonder compromissen op wat gebruikers van halfgeleiderfabrieken mogen verwachten van UPW polijstsystemen.
Vandaag de dag zijn de circuitlijnen van microchips zo complex dat zelfs de kleinste verontreiniging invloed heeft op het eindproduct. Ovivo’s doel is altijd geweest om alle potentiële bronnen van verontreiniging te elimineren.
Door het gebruik van zeer zuivere materialen zoals speciaal PVDF-HP granulaat of Halar® E-CTFE, kunnen Ovivo’s metaalvrije UPW polijstsystemen een totaal organisch koolstof (TOC) van minder dan 1 ppb en waterstofperoxide (H2O2) van minder dan 10 ppb bereiken.
Ovivo omvat een semiconductor grade reinigingsprocedure voor alle bevochtigde onderdelen. Bovendien maakt onze oplossing een volledige controle van de toeleveringsketen mogelijk om een hoge productbetrouwbaarheid en een lange levensduur te garanderen.
Ter ondersteuning van onze metaalvrije polijstsystemen hebben wij de volgende producten ontwikkeld:
- U-PUR. De meest compacte metaalvrije reactor voor UPW productie (UV-oxidatie / katalysator / polijsten gemengd bed)
- UPW-pompen. De nieuwe generatie niet-metalen pompen speciaal ontworpen en vervaardigd voor UPW-toepassingen
- CFHA Patroonfilterbehuizingen. De ultieme metaalvrije patroonfilterbehuizingen voor de UPW-polijststap
Deze producten minimaliseren het bevochtigde oppervlak van roestvrij staal (SS) binnen het UPW-polijstsysteem.
Terwijl conventionele polijstsystemen aanzienlijke elektrolytisch gepolijste SS-uitrusting omvatten, elimineren onze UPW-pompen en met U-PUR fluorpolymeer gevoerde ionenuitwisselingsvaten, waarin UV-behandeling is geïntegreerd, het grootste deel van de bevochtigde metalen oppervlakken.
Metaalvrije pompen zijn niet nieuw op de UPW-markt. Wat wel nieuw is, zijn de hoge debieten die door Ovivo’s UPW-pompen worden bereikt. Deze zeer zuivere metaalvrije pompen zijn zo ontworpen dat alle bevochtigde oppervlakken van zeer zuiver PVDF zijn. Door 316L SS waaiers te vervangen door hoogzuivere PVDF waaiers, worden geleidende deeltjes geëlimineerd uit de processtroom die wordt ervaren tijdens een onderbreking van de service, pomponderhoud of het spoelen van afdichtingen.
De innovatieve U-PUR metaalvrije reactor is in staat om TOC en H2O2 sporen te verwijderen, waardoor water wordt geproduceerd dat veel zuiverder is dan traditionele systemen. Het ontwerp is een onderhoudsvriendelijke oplossing die leidingen overbodig maakt, waardoor het risico van verontreiniging door blootstelling aan metalen wordt verminderd. Het U-PUR product combineert de UV-reactoren met het gemengd bed, om het bevochtigde oppervlak van SS te verwijderen. Dit betekent een belangrijke vooruitgang in de levering van UPW en stelt het systeem in staat een aanzienlijk hogere waterkwaliteit te leveren.
De CFEHA (Cartridge Filter Housing volgens Europese Norm met Halar binnencoating) en CFAHA (Cartridge Filter Housing volgens ASME met Halar binnencoating) modellen zijn de ultieme keuze om aan de specifieke behoeften van UPW toepassingen te voldoen. Beide modellen zijn van binnen en van buiten gebeitst en gepassiveerd alvorens de Halar-coating wordt aangebracht. Deze ultramoderne filterbehuizingen zijn vervaardigd uit hoogwaardig 316L SS en alle natte oppervlakken zijn bekleed met fluorpolymeer. Hierdoor komt UPW nooit in contact met blootgesteld metaal, ideaal voor nanotechproductie.
Voor meer informatie kunt u de afzonderlijke productpagina’s op deze website raadplegen en/of de productbrochures/technische informatiebladen downloaden.
