UREA Analyzer 1601
Ureum is een kritieke verontreiniging in ultrapuur water (UPW) voor de productie van halfgeleiders omdat het bijdraagt aan de totale concentratie van organische koolstof (TOC) die fotolithografische processen nadelig kan beïnvloeden.
Ovivo biedt een innovatieve, online ureumanalysator die continu nauwkeurig ureum meet met maximaal vier bemonsteringskanalen.
Met de UREA Analyzer 1601 is het mogelijk continu te controleren, seizoensgebonden variaties in ureum te meten en de UPW-behandelingsprocesstappen aan te passen om ureum optimaal te verwijderen.
De toepassing is te gebruiken voor ultrapuur water of gedemineraliseerd water. Andere toepassingen zijn afhankelijk van de watersamenstelling.
Ovivo heeft ervaring met efficiënte ureumbehandelingssystemen die de klant voor specifieke situaties naar behoefte kan aanpassen.
De Analyzer UREA 1601 heeft de volgende belangrijke eigenschappen.
- Automatische monstername en analyse
- Continu bedrijf (24/7)
- Laag verbruik van chemicaliën
- Breed scala aan ureumconcentraties
- Monstername-opties
- Automatische softwarebediening vanaf de eerste start, evenals automatische integratie en interpretatie
- Opties voor diagnosesoftware
Proces LC-OND Analyzer voor ureumbewaking
Het werkingsprincipe van de Ovivo UREA Analyzer 1601 is gebaseerd op chromatografische scheiding, in de vorm van LC-OND (Liquid Chromatography – Organic Nitrogen Detection).
Een speciaal ontwikkelde oxidatiereactor reinigt vooraf de mobiele fase (zoutbuffer). Een bepaalde hoeveelheid water wordt opgepikt door een lus en geïnjecteerd in de continue stroom van de mobiele fase. Het monster stroomt vervolgens naar een pomp en een chromatografische kolom waar ureum wordt gescheiden van andere stikstofvormen, zoals nitraat en ammonium.
Na de chromatografische kolom stroomt de oplossing naar een kortegolf-UV-oxidatielampreactor die ureum en ammonium omzet in nitraat, terwijl het nitraat onaangetast blijft.
Nitraat wordt vervolgens selectief gedetecteerd door een kortegolf-UV-absorptiedetector (UVD).
Alle stikstofvormen elueren afhankelijk van hun specifieke retentietijd. De retentietijd identificeert de stof, en de pieken worden gebruikt voor kwantificering.
| Detectiegrens | 1,5 ppb ureum |
| Kwantificeringsbereik | 3 ppb – 150 ppb in de vorm van ureum |
| Bemonsteringskanalen | Maximaal 4 |
| Gemiddelde meettijd | 60 min. per monster |
| Volume per monsterneming | < 100 ml |
| Maximale druk monsterneming | 10 bar |
| Spanning | 90-230 V / 10 A @ 50-60 Hz |
| Energieverbruik | 450 watt |
| Afmetingen | 60 x 60 x 190 cm |
| Werking | Automatisch, selecteerbare procedure of handmatige afzonderlijke metingen
Online analyse of monsteranalyse |
